| 发明名称 |
ELECTROMAGNETIC ALIGNMENT AND SCANNING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HK1035431(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.11 |
| 申请号 |
HK20010101432 |
申请日期 |
1998.12.24 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
EBIHARA, AKIMITSU;NOVAK, THOMAS |
| 分类号 |
B23Q1/00;B23Q1/38;B23Q1/58;G03F7/20;G03F7/22;G03F9/00;G05D3/00;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):H01L;G03F |
主分类号 |
B23Q1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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