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<p>Selon l'invention, la quantité de puissance RF fournie à un plasma dans une chambre de traitement plasma sous vide est modifiée graduellement sur une base préprogrammée en réponse à des signaux stockés dans une mémoire d'ordinateur. Cette mémoire stocke des signaux de sorte que d'autres paramètres de la chambre de traitement (pression, type de gaz et débit de gaz) restent constants pendant la modification graduelle. Les signaux stockés permettent d'obtenir la gravure de coins arrondis au lieu d'angles vifs, par exemple à une intersection d'une base et d'une paroi de tranchée.</p> |
