| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf die Sondenmikroskopie, insbesondere Rastersondenmikroskopie (Scanning Probe Microscopy) sowie damit verwandte Verfahren wie die Rasterkraftmikroskopie (Atomic Force Microscopy) und andere vergleichbare Verfahren. Sie betrifft eine Anordnung mit mehreren, vorzugsweise parallel angeordneten Tastköpfen oder Sonden, die auf jeweils einem Biegebalken oder Cantilever angeordnet sind. Ein sog. Cantilever-Array, d.h. eine Anordnung von mehreren Biegebalken, jeweils mit zugeordnetem Detektor und ggf. Aktor, werden in einem multiplex-Verfahren in der Weise selektiv betrieben, dass der jeweils ausgewählte Biegebalken angesteuert und vom Detektor sein Signal ausgelesen und ggf. Verarbeitet wird, während die übrigen Biegebalken selektiv über ihre Aktore, soweit vorhanden, mittels gespeicherten Signalen konstant gehalten werden. Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft die möglichst weitgehende Integration der Biegebalken, ggf. Des oder der Multiplexer-Schaltungen und der Aktorbzw. Detektorschaltungen in einer gemeinsamen Halbleiterstruktur (Chip).</p> |
