| 摘要 |
<p>Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, akustische Oberflächenwellenbauelemente, enthaltend eine ferroelektrische Schicht auf einem Substrat und Interdigitalwandler oberhalb und/oder unterhalb der Schicht, so auszubilden, dass diese in der ferroelektrischen Schicht einen gegenüber dem Stand der Technik wesentlich erhöhten Koppelfaktor aufweisen. Diese Aufgabe ist dadurch gelöst, dass die ferroelektrische Schicht eine Dicke im Bereich von 0,25 bis 0,35 der Wellenlänge der im Bauelement transportierten akustischen Welle besitzt und eine remanente Polarisation aufweist, die in der Schichtebene liegt und eine Vorzugsorientierung senkrecht zur Wellenausbreitung hat. Die ferroelektrische Schicht kann aus Bleizirkonattitanat, Bariumtitanat, Bleititanat, Bleizinkniobat, Kaliumniobat, Lithiumniobat oder Lithiumtantalat oder aus Mischungen dieser Materialien bestehen. Die Erfindung ist vorteilhaft bei SAW-Bauelementen anwendbar und ermöglicht die Erzielung herausragender Bauelementeeigenschaften und die Integration solcher Bauelemente auf Silizium.</p> |
