| 发明名称 |
SPUTTER ANLAGE MIT EINGEBAUTEM WARTUNGSMODUL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69525372(T2) |
申请公布日期 |
2002.10.10 |
| 申请号 |
DE19956025372T |
申请日期 |
1995.11.09 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
HURWITT, STEVEN |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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