| 发明名称 |
Plasma surface treatment method and device for carrying out said method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002242923(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.08 |
| 申请号 |
AU20020242923 |
申请日期 |
2002.03.26 |
| 申请人 |
APIT CORP. SA |
发明人 |
MICKHAIL SAMSONOV;PAVEL KOULIK;ALEXANDER CHEREPANOV;EVGUENII PETROV |
| 分类号 |
H05H1/24;B08B7/00;B65D23/02;B65D23/08;B65D25/34;H01J37/32;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H05H1/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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