| 发明名称 |
Neutral particle beam processing apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002239026(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.08 |
| 申请号 |
AU20020239026 |
申请日期 |
2002.03.22 |
| 申请人 |
EBARA CORPORATION |
发明人 |
HIROKUNI HIYAMA;KAZUO YAMAUCHI;SEIJI SAMUKAWA;KATSUNORI ICHIKI |
| 分类号 |
C23C14/32;G21K1/14;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46;H05H3/00;H05H3/02;(IPC1-7):H05H3/02 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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