传感器敏感芯片

摘要

传感器敏感芯片。它是在一块芯片1的一面上对称腐蚀出两个凹槽2,每个凹槽2内有把力转变为电阻的装置3,在芯片1上有一道“ ”形的增敏槽4,两个缺口部分的两端分别和两个凹槽2连接,增敏槽4为腐蚀穿透而形成;在芯片1上其它应力小的部分可制作补偿电路或信号处理电路;芯片1的另一面结构相同。本传感器芯片可以用于制作成压阻式、电容式和其它形式的力学量敏感元件并用之封装成相应的力学量传感器。

主权项

1、一种传感器敏感芯片，其特征在于：在一块芯片(1)的一面上对称腐蚀出两个凹槽(2)，每个凹槽(2)内有把力转变为电阻的装置(3)；在芯片(1)上有一道“[]”形的增敏槽(4)，两个缺口部分的两端分别和两个凹槽(2)连接，增敏槽(4)为腐蚀穿透而形成；芯片(1)的另一面上结构相同。