| 主权项 |
1.一种透平型分子泵,系于壳体内部具有令转子侧 的旋转翼与定子侧固定翼交互配置之翼排气部者, 其特征在:前述翼排气部具备轴方向翼排气部以及 配置在该轴方向翼排气部下游侧的径方向翼排气 部; 且前述径方向翼排气部系于前述固定翼或旋转翼 之相互对向面的至少一方形成螺旋状凹凸所构成 者。2.如申请专利范围第1项的透平型分子泵,其中 ,于前述轴方向翼排气部及前述径方向排气部之间 设有由螺沟以向轴方向排气之螺沟排气部者。3. 如申请专利范围第1项的透平型分子泵,其中,于前 述径方向翼排气部之下游侧设有由螺沟向轴方向 排气之螺沟排气部者。4.如申请专利范围第3项的 透平型分子泵,其中,前述螺沟排气部系设在前述 转子内面与配置在该转子内侧的固定筒状部之间 者。5.一种透平型分子泵,系于壳体内部具有令转 子侧旋转翼与定子侧固定翼交互配置之翼排气部, 其特征在:前述翼排气部具备于前述固定翼或旋转 翼之互相对向面的至少一方形成有螺旋状凹凸的 径方向翼排气部。6.如申请专利范围第5项的透平 型分子泵,其中,于前述径方向翼排气部之上游侧 设有由螺沟以向轴方向排气之螺沟排气部者。7. 如申请专利范围第5项的透平型分子泵,其中,于前 述径方向翼排气部之下游侧设有由螺沟以向轴方 向排气之螺沟排气部者。8.如申请专利范围第7项 的透平型分子泵,其中,前述螺沟排气部系设于上 述转子内面与配置在该转子内侧的固定筒状部之 间者。9.如申请专利范围第1项至第8项中任一项的 透平型分子泵,其中,前述固定翼及/或旋转翼为用 钛合金或陶瓷形成者。图式简单说明: 第1图表示本发明之实施形态的透平型分子泵断面 图。 第2图表示第1图之透平型分子泵的固定翼。 第3图表示本发明之另一实施形态的透平型分子泵 之旋转翼。 第4图表示本发明之实施形态的透平型分子泵之作 用的图表。 第5图同为表示本发明之实施形态的透平型分子泵 之作用的图表。 第6图表示本发明之第3实施形态的透平型分子泵 的断面图。 第7图表示本发明之第4实施形态的透平型分子泵 的断面图。 第8图表示本发明之第5实施形态的透平型分子泵 的断面图。 第9图表示本发明之第6实施形态的透平型分子泵 的断面图。 第10图表示本发明之第7实施形态的透平型分子泵 的断面图。 第11图表示本发明之第8实施形态的透平型分子泵 的断面图。 第12图表示本发明之透平型分子泵于设有凹凸之 一方的变形例之断面图。 第13图同为表示本发明之透平型分子泵于设有凹 凸之一方的变形例之断面图。 第14图表示习用之透平型分子泵的断面图。 |
