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发明名称
摘要
申请公布号
JP3330255(B2)
申请公布日期
2002.09.30
申请号
JP19950102472
申请日期
1995.04.26
申请人
发明人
分类号
H01L29/786;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336
主分类号
H01L29/786
代理机构
代理人
主权项
地址
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