发明名称
摘要
申请公布号 JP3330255(B2) 申请公布日期 2002.09.30
申请号 JP19950102472 申请日期 1995.04.26
申请人 发明人
分类号 H01L29/786;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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