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发明名称 SOLID PHASE GROWTH OF SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 JPS6248015(A) 申请公布日期 1987.03.02
申请号 JP19850188894 申请日期 1985.08.28
申请人 SONY CORP 发明人 HAYASHI HISAO
分类号 H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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