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发明名称 Halbleiteranordnung mit einer dünnen Polysilicium-Schicht und Verfahren zur Herstellung
摘要
申请公布号 DE69527827(D1) 申请公布日期 2002.09.26
申请号 DE1995627827 申请日期 1995.09.15
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MIURA, HIDEO;MORIBE, SHUNJI;KATO, HISAYUKI;KOIKE, ATSUYOSHI;IKEDA, SHUJI;NISHIMURA, ASAO
分类号 H01L21/8247;C23C16/24;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L29/04;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;H01L31/18;(IPC1-7):H01L29/04;H01L29/43;H01L29/73 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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