发明名称 Damaszener-Doppelprozess mit Löchern mit abgeschrägten Flauben
摘要
申请公布号 DE69618386(T2) 申请公布日期 2002.09.26
申请号 DE19966018386T 申请日期 1996.05.07
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 LICATA, THOMAS JOHN;NUNES, RONALD WAYNE;OKAZAKI, MOTOYA
分类号 H01L23/538;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/538
代理机构 代理人
主权项
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