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发明名称
Damaszener-Doppelprozess mit Löchern mit abgeschrägten Flauben
摘要
申请公布号
DE69618386(T2)
申请公布日期
2002.09.26
申请号
DE19966018386T
申请日期
1996.05.07
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK
发明人
LICATA, THOMAS JOHN;NUNES, RONALD WAYNE;OKAZAKI, MOTOYA
分类号
H01L23/538;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L23/538
代理机构
代理人
主权项
地址
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