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发明名称 METHOD FOR PRODUCING GROUP III NITRIDE COMPOUND SEMICONDUCTOR AND GROUP III NITRIDE COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20020073485(A) 申请公布日期 2002.09.26
申请号 KR1020027008101 申请日期 2002.06.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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