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发明名称 System and method to control radial delta temperature
摘要
申请公布号 AU2002242327(A1) 申请公布日期 2002.09.24
申请号 AU20020242327 申请日期 2002.03.08
申请人 ASML US, INC. 发明人 ALAN STARNER;COLE PORTER
分类号 H01L21/22;F27B17/00;F27D19/00;F27D21/00;H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):F27D11/00 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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