| 主权项 |
1.一种具有主动式防静电破坏功能之光罩盒结构,其包括:一光罩盒,用以罩住一光罩;以及一电子回路,具有吸收静电功能,连结在该光罩盒的导电体上。2.如申请专利范围第1项所述之光罩盒结构,其中该电子回路包括有独立的第一子回路与第二子回路。3.如申请专利范围第1项所述之光罩盒结构,其中该电子回路更包括一保险丝元件,一端连结该光罩盒的导电体上,另一端则连结该等子回路,而能随时保护该电子回路上的零件。4.如申请专利范围第2项所述之光罩盒结构,其中该第一子回路包括:第一二极体元件,用以当作控制静电电流流向开关,该第一二极体元件的阳极连结于该该光罩盒的导电体上;以及第一主动元件,该第一主动元件的正极连结该第一二极体元件的阴极,该主动元件用以调整该光罩盒与该电子回路之间的电位平衡;以及第二二极体元件,该第二二极体元件的阳极与该第一主动元件的正极连结,且该第二二极体元件的阴极则与该第一主动元件的负极连结,以形成第一顺向偏压回路。5.如申请专利范围第4项所述之光罩盒结构,其中该第一顺向偏压回路更包括:一被动元件,用以使该静电能量转换成热能而消耗掉;以及一讯息显示元件,能随时监测该电子回路上的零件寿命与电流状况。6.如申请专利范围第2项所述之光罩盒结构,其中该第二子回路包括:第三二极体元件,用以当作控制静电电流流向开关,该第三二极体元件的阴极连结于该该光罩盒的导电体上;以及第二主动元件,该第二主动元件的负极连结该第三二极体元件的阳极,该主动元件用以调整该光罩盒与该电子回路之间的电位平衡;以及第四二极体元件,该第四二极体元件的阳极与该第二主动元件的正极连结,该第四二极体元件的阴极则与该第二主动元件的负极连结,以形成第二顺向偏压回路。7.如申请专利范围第6项所述之光罩盒结构,其中该第二顺向偏压回路更包括:一被动元件,用以使该静电能量转换成热能而消耗掉;以及一讯息显示元件,能随时监测该电子回路上的零件寿命与电流状况。8.如申请专利范围第4项及第6项任一项所述之光罩盒结构,其中该等主动元件为电池。9.如申请专利范围第5项及第7项任一项所述之光罩盒结构,其中该等被动元件为电阻。10.如申请专利范围第5项及第7项任一项所述之光罩盒结构,其中该等讯息显示元件为灯泡、发光二极体。11.一种具有主动式防静电破坏功能之光罩结构,其包括:一光罩,用以微影曝光图案;以及一电子回路,具有吸收静电功能,连结在该光罩的导电体上。12.如申请专利范围第11项所述之光罩结构,其中该电子回路包括有独立的第一子回路与第二子回路。13.如申请专利范围第11项所述之光罩结构,其中该电子回路更包括一保险丝元件,一端连结该光罩的导电体上,另一端则连结该等子回路,而能随时保护该电子回路上的零件。14.如申请专利范围第12项所述之光罩结构,其中该第一子回路包括:第一二极体元件,用以当作控制静电电流流向开关,该第一二极体元件的阳极连结于该该光罩的导电体上;以及第一主动元件,该第一主动元件的正极连结该第一二极体元件的阴极,该主动元件用以调整该光罩与该电子回路之间的电位平衡;以及第二二极体元件,该第二二极体元件的阳极与该第一主动元件的正极连结,该第二二极体元件的阴极则与该第一主动元件的负极连结,以形成第一顺向偏压回路。15.如申请专利范围第14项所述之光罩结构,其中该第一顺向偏压回路更包括:一被动元件,用以使该静电能量转换成热能而消耗掉;以及一讯息显示元件,能随时监测该电子回路上的零件寿命与电流状况。16.如申请专利范围第12项所述之光罩结构,其中该第二子回路包括:第三二极体元件,用以当作控制静电电流流向开关,该第三二极体元件的阴极连结于该该光罩的导电体上;以及第二主动元件,该第二主动元件的负极连结该第三二极体元件的阳极,该主动元件用以调整该光罩与该电子回路之间的电位平衡;以及第四二极体元件,该第四二极体元件的阳极与该第二主动元件的正极连结,该第四二极体元件的阴极则与该第二主动元件的负极连结,以形成第二顺向偏压回路。17.如申请专利范围第16项所述之光罩结构,其中该第二顺向偏压回路更包括:一被动元件,用以使该静电能量转换成热能而消耗掉;以及一讯息显元元件,能随时监测该电子迥路上的零件寿命与电流状况。18.如申请专利范围第14项及第16项任一项所述之光罩结构,其中该等主动元件为电池。19.如申请专利范围第15项及第17项任一项所述之光罩结构,其中该等被动元件为电阻。20.如申请专利范围第15项及第17项任一项所述之光罩结构,其中该等讯息显示元件为灯泡、发光二极体。图式简单说明:第1A图为习知的光罩盒的上视图;第1B图为第1A图中延a-a线的剖面示意图;第1C图为习知之被动式静电消除之光罩盒示意图;第2图为本发明之第1实施例之主动式静电消除之光罩盒示意图;第3图为本发明之第2实施例之主动式静电消除之光罩示意图;第4图为本发明之主动式静电消除之回路的实施例。 |
