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发明名称
摘要
申请公布号	JP3326085(B2)	申请公布日期	2002.09.17
申请号	JP19960341162	申请日期	1996.12.20
申请人		发明人
分类号	C22F1/08;C22C9/00;H01L21/60;H05K1/09;(IPC1-7):H01L21/60	主分类号	C22F1/08
代理机构		代理人
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