| 发明名称 |
Step function determination of auger peak intensity |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002245524(A1) |
申请公布日期 |
2002.09.12 |
| 申请号 |
AU20020245524 |
申请日期 |
2002.02.25 |
| 申请人 |
FEI COMPANY |
发明人 |
DIMITRI KLYACHKO;SERGEY BORODYANSKY;LEONID VASILYEV |
| 分类号 |
G01N23/227;G01Q30/04;(IPC1-7):H01J49/44 |
主分类号 |
G01N23/227 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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