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Beim partiellen thermochemischen Vakuumbehandeln von metallischen Werkstücken (1), insbesondere beim Aufkohlen und Einsatzhärten von Werkstücken (1) aus Einsatzstahl in einer kohlenstoffhaltigen Atmosphäre, stoßen behandelte Oberflächenbereiche (3, 4, 5, 6) und unbehandelte Oberflächenbereiche aneinander. Um diese Oberflächenbereiche insbesondere solche in Hohlräumen (2) der Werkstücke (1) genau gegeneinander abzugrenzen, werden die nicht zu behandelnden Bereiche durch wiederverwendbare zerlegbare Formkörper (11) aus einem temperaturbeständigen Material mit einem Formhohlraum (15) abgedeckt. Dabei schließt der aus einem Unterteil (12) und einem Oberteil (13) mit Öffnungen (12b, 13b) bestehende Formkörper (11) mindestens ein Werkstück (1) derart ein, dass zwischen dem Formkörper (11) und dem mindestens einen Werkstück (1) keine Behandlung stattfindet. Ein elektrisch leitfähiger Formkörper (11) eignet sich insbesondere für eine thermochemische Behandlung unter Plasmaeinwirkung. Als Material für die Formkörper (11) wird Grafit oder CFC verwendet. In einem solchen Formkörper können die Werkstücke sowohl vor der Aufkohlung einem Aufheizvorgang als auch nach der Aufkohlung Vorgängen aus der Gruppe Diffusion, Gasabschreckung und ggf. Weiterbehandlungen wie Tiefkühlung und/oder Anlassen ausgesetzt werden.
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