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发明名称 Transistor mit Kohlenstoff-Nanoröhren und Verfahren zum Betreiben eines solchen Transistors
摘要
申请公布号 DE19916351(C2) 申请公布日期 2002.09.12
申请号 DE1999116351 申请日期 1999.04.12
申请人 LG SEMICON CO., LTD. 发明人 IHM, JI SOON
分类号 H01L29/06;H01L29/15;H01L29/16;H01L29/167;H01L29/66;H01L29/73;H01L29/735;H01L31/0312;H01L51/30;(IPC1-7):H01L29/73;H01L51/20 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
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