发明名称 Fabrication method for a semiconductor integrated circuit device including a field effect transistor, a capacitor and a resistor.
摘要
申请公布号 EP0682371(B1) 申请公布日期 2002.09.11
申请号 EP19950105966 申请日期 1995.04.21
申请人 NEC CORPORATION 发明人 YOSHIMORI, MASANORI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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