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发明名称 ULTRASONIC TRANSDUCER SLURRY DISPENSER
摘要
申请公布号 EP1144155(A3) 申请公布日期 2002.09.11
申请号 EP20000959642 申请日期 2000.08.30
申请人 PHILIPS SEMICONDUCTORS INC. 发明人 ZHANG, LIMING;DUNTON, SAMUEL, VANCE;WELING, MILIND, GANESH
分类号 B24B1/04;B24B41/06;B24B53/007;B24B57/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24B1/00 主分类号 B24B1/04
代理机构 代理人
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