等离子体混合气相法制备纳米微粒的装置

摘要

本实用新型涉及等离子体混合气相法制备纳米微粒的装置,其特征在于:包括石英波导管8,石英波导管8内依次设有磁控管7、触发电极5、四周的石英波导管8内壁上分别设着进料管1、进气管2和进气管3,其外部设有高频线圈6、激励线圈9,其下部连通着反应室。本实用新型将用于不同材料的纳米微粒的制备机构设计在一个装置中,使其具有更多的功能和更广泛的适用范围,实现一机多用。该装置为气相法制备纳料微粒的装置,设计合理,结构简单。

主权项

1、等离子体混合气相法制备纳米微粒的装置，其特征在于：包括石英波导管8，石英波导管8的一管端设有磁控管7，该端管内中部设有触发电极5，在触发电极5四周的石英波导管8内壁上分别设着进料管1、进气管2和进气管3，其下部石英波导管8外侧设有高频线圈6，依次向下石英波导管8内壁上设有进气管4，其下部石英波导管8外侧设有激励线圈9，依次向下为反应室10，反应室10中部相对的侧壁上分别设有激光入射窗14和两个以上的进气口13，反应室10中部另一相对的侧壁上分别设有阳极阵列11和阴极阵列12，与反应室10连通的是出口通道16，出口通道16上设有阀门15。