发明名称 | 改善了光学性能和电性能的功能薄膜 | ||
摘要 | 提供的是一种包含一个过渡层的功能薄膜,该过渡层包含有SiO作为介电材料的第一成分和至少一种选自铝(Al)、银(Ag)、硅(Si)、锗(Ge)、钇(Y)、锌(Zn)、锆(Zr)、钨(W)和钽(Ta)的第二成分,第一和第二成分有随薄膜厚度渐变的含量梯度。 | ||
申请公布号 | CN1368657A | 申请公布日期 | 2002.09.11 |
申请号 | CN01137909.X | 申请日期 | 2001.11.05 |
申请人 | 三星SDI株式会社 | 发明人 | 崔天基;都永洛;李准培;朴昌元 |
分类号 | G02F1/19 | 主分类号 | G02F1/19 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 刘元金;王其灏 |
主权项 | 1.一种包含一个过渡层的功能薄膜,该过渡层包含有SiO作为介电材料的第一成分和至少一种选自铝(Al)、银(Ag)、硅(Si)、锗(Ge)、钇(Y)、锌(Zn)、锆(Zr)、钨(W)和钽(Ta)的第二成分,第一和第二成分有随薄膜厚度渐变的含量梯度。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |