发明名称 改善了光学性能和电性能的功能薄膜
摘要 提供的是一种包含一个过渡层的功能薄膜,该过渡层包含有SiO作为介电材料的第一成分和至少一种选自铝(Al)、银(Ag)、硅(Si)、锗(Ge)、钇(Y)、锌(Zn)、锆(Zr)、钨(W)和钽(Ta)的第二成分,第一和第二成分有随薄膜厚度渐变的含量梯度。
申请公布号 CN1368657A 申请公布日期 2002.09.11
申请号 CN01137909.X 申请日期 2001.11.05
申请人 三星SDI株式会社 发明人 崔天基;都永洛;李准培;朴昌元
分类号 G02F1/19 主分类号 G02F1/19
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 刘元金;王其灏
主权项 1.一种包含一个过渡层的功能薄膜,该过渡层包含有SiO作为介电材料的第一成分和至少一种选自铝(Al)、银(Ag)、硅(Si)、锗(Ge)、钇(Y)、锌(Zn)、锆(Zr)、钨(W)和钽(Ta)的第二成分,第一和第二成分有随薄膜厚度渐变的含量梯度。
地址 韩国京畿道