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<p>전자레인지용 절대습도센서에 관한 것으로, 실리콘 기판과, 기판 위에 형성되고 대기 중에 노출된 수분을 감지하며 감지되는 수분의 양에 따라 저항값이 변하는 감습소자와, 기판 위에 형성되고 감습소자의 저항값을 보상하는 보상소자와, 보상소자 위에 덮혀있고 보상소자의 저항값이 변하지 않도록 대기 중에 노출된 수분을 차단하는 보호막으로 구성된다. 여기서, 감습소자 및 보상소자는 기판 위에 형성되는 절연막과, 절연막 위에 형성되어 수분을 흡습하는 폴리이미드 감습막과, 감습막의 하부 또는 상/하부에 각각 형성되는 콤 형태의 전극으로 구성된다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 세라믹 계통의 감습 재료보다 많은 양의 수분을 흡수할 수 있는 폴리이미드 박막을 감습 재료로, 실리콘 웨이퍼를 기판으로 이용하여 습도에 민감한 절대습도센서를 제작함과 동시에 실리콘 공정을 이용하여 센서를 집적화함으로써, 센서의 대량 생산을 용이하도록 한다.</p> |
