发明名称 |
SPUTTERING TARGET AND METHODS OF MAKING SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1235948(A2) |
申请公布日期 |
2002.09.04 |
申请号 |
EP20000992611 |
申请日期 |
2000.12.01 |
申请人 |
N.V. BEKAERT S.A. |
发明人 |
HARTIG, KLAUS;VANDERSTRAETEN, JOHAN |
分类号 |
C22C1/02;C22C18/00;C23C4/00;C23C4/08;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/08;C23C18/00 |
主分类号 |
C22C1/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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