发明名称 SPUTTERING TARGET AND METHODS OF MAKING SAME
摘要
申请公布号 EP1235948(A2) 申请公布日期 2002.09.04
申请号 EP20000992611 申请日期 2000.12.01
申请人 N.V. BEKAERT S.A. 发明人 HARTIG, KLAUS;VANDERSTRAETEN, JOHAN
分类号 C22C1/02;C22C18/00;C23C4/00;C23C4/08;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/08;C23C18/00 主分类号 C22C1/02
代理机构 代理人
主权项
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