| 主权项 |
1.一种保持器机构,其特征为具备有保持被保持物之保持器框;与设置在前述保持器框,将前述被保持卡压之固定基准构件;与针对前述被保持体之尺寸对于前述保持器框可动的,而将前述被保持体卡压之可动基准构件;与在前述保持器框之横方向与纵方向至少各自设置一个,将前述被保持体卡压在前述固定基准构件或者前述可动基准构件之卡压构件;与驱动前述可动基准构件之驱动部。2.如申请专利范围第1项之保持器机构,其中前述可动基准构件系对应于复数之前述被保持体之尺寸之位置,复数组地被设置。3.如申请专利范围第1或者2项之保持器机构,其中前述固定基准构件系将前述被保持体之邻二边卡压般设置成复数个。4.如申请专利范围第2项之保持器机构,其中前述驱动部系对应于保持在前述保持器框之被保持体的尺寸,选择性地驱动复数组之前述可动基准构件。5.如申请专利范围第1项之保持器机构,其中前述可动基准构件系在对应前述被保持体之尺寸位置可自由旋转,将前述保持器框在保持所定尺寸之被保持体时向前述保持器框之内侧方向旋转,在保持前述所定尺寸以之外之被保持体时向前述保持器框之外侧方向转。6.如申请专利范围第5项之保持器机构,其中前述保持器框系在将前述可动基准构件向前述保持器框体之外侧方向旋转时,将前述可动基准构件退避形成退避部。7.如申请专利范围第1项之保持器机构,其中前述可动基准构件系设置在前述保持器框之横方向与纵方向之至少一方可自由移动地设置之移动构件上。8.如申请专利范围第7项之保持器机构,其中前述移动构件系在前述横方向与纵方向之至少一方形成自由移动之工字型。9.如申请专利范围第7项之保持器机构,其中前述移动构件系在前述横方向与纵方向之西方形成自由移动之L字型。10.一种保持器机构,其特征为具备有保持被保持体之保持器框、与设置在前述保持器框,将前述被保持体卡压之固定基准构件、与对应于前述被保持体的尺寸对于前述保持器可动,将前述保持体卡压之可动构件、与驱动前述可动构件之驱动部。图式简单说明:第1图 系显示有关本发明之实施形态的基板检查装置的构成之斜视图。第2图 系显示有关本发明之实施形态使用于基板检查装置之基板保持器的构成图。第3A图 系显示有关本发明之实施形态的可动基准销机构之具体构成图。第3B图 系显示有关本发明之实施形态的L字形臂之平面图与侧断面图。第4图 系显示有关本发明之实施形态的可动基准销机构之驱动系的构成模式图。第5A图 系显示有关本发明之实施形态的在基板保持器将大型玻璃基板保持时之状态图。第5B图 系显示有关本发明之实施形态的在基板保持器将小型玻璃基板保持之状态图。第6A图 系显示有关本发明之实施形态的在基板保持器将大型玻璃基板保持时之状态图。第6B图 系显示有关本发明之实施形态的在基板保持器将小型玻璃基板保持时之状态图。第7A、7B图 系显示有关本发明之实施形态的基板保持器构成图。第8A、8B图 系显示有关本发明之实施形态的基板保持器构成图。第9A图 系显示有关本发明之实施形态的可动基准板的驱动机构之构成的模式图。第9B图 系显示有关本发明之实施形态的可动基准板的驱动机构之构成的断面图。第10A、10B 系显示有关本发明之实施形态的基板保持器的构成图。第11图 系显示有关本发明之实施形态的可动基板之构成的模式图。第12A、12B图 系显示有关本发明之实施形态的变形例之基板保持器构成图。第13A、13B图 系显示有关本发明之实施形态变形例之基板保持器的构成图。第14图 系显示有关以往例所使用于基板检查装置之基板保持器构成图。第15图 系显示有关以往例之在基板保持器将大型玻璃基板保持之状态图。第16图 系显示有关以往例之在基板保持器将大型玻璃基板保持之状态图。 |
