一种微电子器件加工设备中直线运动的控制装置

摘要

本发明涉及微电子器件生产专用设备并对其控制装置的改进。采用接口电路使来自外界的各种干扰信号同可编程控制器之间得以有效的隔离。X轴采用限位开关,使X轴不会超出行程,因此有效地保护了设备。X轴采用到位开关来矫正零点,因此无累积误差,定位精度提高。采用显示电路可直观了解控制装置的工作情况,容易判断故障所在的部位,维修方便、实用性更强。采用启动按钮和电源控制接触器及保护接触器,当机械发生故障时使电机超载等原因造成的故障及时切断,则不会使控制器和驱动器损坏,不会因故障扩大给设备造成损失,使电源供给更加可靠,操作方便,功能更加完善。在控制装置中加入了干扰抑制器,各种干扰得以有效抑制,设备工作更加可靠。

主权项

1、一种微电子器件加工设备中直线运动的控制装置，控制部分 主要包括装片吸盘2、光纤检测传感器3、X轴步进电机4、收料箱 6、供、收料到位检测开关7、夹紧气缸8、卸片吸盘9、料检测开 关10、供料箱12、转盘13、检平台14、直线电机15、磁感应传感 器18、转盘到位检测开关19、供料电机26、转盘电机27、收料电 机31、供料、收料盒上到位检测开关32、可编程控制器44、供料、 收料盒下到位检测开关45、X轴步进电机驱动器49、控制面板50、 操作键盘51、气压传感器52、气动电磁阀53、交流伺服电机54、 交流伺服电机驱动器55、直线电机驱动器56、探卡58，其特征在 于还包括：可编程控制器44的数据总线、地址总线和控制线分别接 到输入模板42和输出模板43、驱动器46、驱动器47、驱动器48、 驱动器49、驱动器55、驱动器56的输入端上，X轴限位开关1、 各轴到位检测接口电路38、39、接口电路40、41、料检测开关10、 磁感应传感器18、光纤检测传感器3、气压传感器52和键盘51的 输出端分别与输入接口电路37中光电隔离器件60的输入端联接， 光电隔离器件60的输出端分别与输入模板42、显示电路36的输入 端联接，供、收料到位检测开关7、霍尔传感器11、到位开关5、 上到位检测开关32、下到位检测开关45的输出端分别与到位检测 接口电路38、39、接口电路40、41的输入端联接，输出模板43的 输出端分别与气缸8、卸片吸盘9、报警接口电路57中的功率继电 器61的输入端口联接，报警接口电路57中的功率继电器61的输出 端分别与报警声光显示器件62联接，直线电机15的控制线与驱动 器56的控制输出端联接，供料电机26的控制线与驱动器46的控制 输出端联接，收料电机31的控制线与驱动器47的控制输出端联接， 转盘电机27的控制线与驱动器48的控制输出端联接，步进电机4 的控制线与驱动器49的控制端联接，交流伺服电机54的控制线与 驱动器55的控制输出输出端联接，动力电通过总电源保护器33的 输出端联接到电源控制接触器35的输入端，按钮17的常开点与接 触器35的线圈联接，接触器35的输出端与接触器34的输入端联接， 接触器34的输出端分别与保护器20、保护器21、保护器22、保护 器23、保护器24、保护器25、保护器59的输入端联接，急停开关 16的常开点与接触器34的线圈联接，接触器34的输出端分别与干 扰抑制器28、干扰抑制器29、干扰抑制器30的输入端联接，干扰 抑制器28的输出端与驱动器23的电源输入端联接，干扰抑制器29 的输出端与驱动器55的电源输入端联接，干扰抑制器30的输出端 和可编程控制器44的电源输入端联接。