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经营范围
发明名称
Electrostatic clamping
摘要
申请公布号
GB0216711(D0)
申请公布日期
2002.08.28
申请号
GB20020016711
申请日期
2001.12.04
申请人
TRIKON HOLDINGS LIMITED
发明人
分类号
H01L21/683
主分类号
H01L21/683
代理机构
代理人
主权项
地址
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