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发明名称
摘要
申请公布号 JP3317320(B2) 申请公布日期 2002.08.26
申请号 JP19950015991 申请日期 1995.02.02
申请人 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/06;H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/8232;H01L27/06;H03K17/62;(IPC1-7):H01L21/822;H01L21/823 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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