发明名称 Methode zur Herstellung eines Dünnfilm-Transistors mit invertierter Struktur
摘要
申请公布号 DE69525558(T2) 申请公布日期 2002.08.22
申请号 DE19956025558T 申请日期 1995.04.20
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 KOIDE, SHIN;OHI, SUSUMI C/O NEC CORPORATION
分类号 H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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