| 摘要 |
<p>L'invention concerne un dispositif et un procédé destinés à positionner une plaquette (16) sur un support de plaquette (220), et à maintenir une température uniforme sur ladite plaquette. Le support de plaquette ou suscepteur (200) comporte une cavité ou une poche (202) dont la surface (229) est concave et présente une grille constituée de rainures de grille (222) séparant des saillies (220). La concavité et les rainures de grille définissent un volume de flux fermé (248) entre une plaquette supportée (16) et la surface de suscepteur, ainsi qu'une zone d'évasion, ou l'ensemble de la zone transversale des rainures de grille (222) s'ouvre depuis le dessous de la périphérie de la plaquette (16). Le suscepteur selon l'invention est conçu de manière à réduire le glissement et l'incurvation de la plaquette lors de sa libération, et l'adhérence de la plaquette lors de son extraction, tout en améliorant l'uniformité thermique et diminuant les problèmes particulaires. Dans un autre mode de réalisation, des éléments de centrage (250 ou 252) se présentant sous la forme de fines saillies radiales sont disposés autour du bord d'une poche de suscepteur (202) de manière à réduire davantage la possibilité de contact entre la plaquette et l'épaule extérieure (206) du suscepteur. Ainsi, il est possible de maintenir une température uniforme sur la plaquette lors du traitement, et par conséquent de garantir une meilleure qualité du produit obtenu.</p> |
