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发明名称 WAFERHALTEVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69806578(D1) 申请公布日期 2002.08.22
申请号 DE1998606578 申请日期 1998.01.23
申请人 ASM AMERICA INC., PHOENIX 发明人 FOSTER, W.;VYNE, M.;WENGERT, F.;VAN DER JEUGD, A.;JACOBS, R.;VAN BILSEN, B.;GOODMAN, MATTHEW;HARTMANN, GLENN;LAYTON, M.;HALPIN, W.;HAWKINS, R.
分类号 C23C16/458;A21B2/00;B24B7/00;C23C14/00;C23C16/00;C23C16/44;C23C16/46;C23C16/48;C23C16/52;C23F1/00;C30B31/12;C30B31/18;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/324;H01L23/34;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
主权项
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