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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SCANNING, STITCHING, AND DAMPING MEASUREMENTS OF A DOUBLE-SIDED METROLOGY INSPECTION TOOL
摘要
申请公布号 EP1232384(A1) 申请公布日期 2002.08.21
申请号 EP20000942900 申请日期 2000.06.16
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 SULLIVAN, PAUL, J.;KREN, GEORGE;SMEDT, RODNEY, C.;HANSEN, HANS, J.;SHORTT, DAVID, W.;KAVALDJIEV, DANIEL IVANOV;BEVIS, CHRISTOPHER, F.
分类号 G01B11/30;G01N21/95;G01R31/265;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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