发明名称 Relaxed inxga1-xas layers integrated with si
摘要
申请公布号 AU2002241984(A1) 申请公布日期 2002.08.19
申请号 AU20020241984 申请日期 2002.01.28
申请人 AMBERWAVE SYSTEMS CORPORATION 发明人 EUGENE A. FITZGERALD;MAYANK BULSARA
分类号 C30B25/02;C30B25/20;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/20;C30B29/40 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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