发明名称 FABRICACION DE UN DISPOSITIVO SEMICONDUCTOR.
摘要 UN METODO PARA FORMAR UN FOSO DOPADO COMO PARTE DE LA FABRICACION DE UN DISPOSITIVO SEMICONDUCTOR TAL COMO UN DISPOSITIVO DE POTENCIA CON PUERTA DE FOSO, TRANSISTOR LOGICO O CELDA DE MEMORIA. SE FORMA UN FOSO (3) EN UN SUSTRATO SEMICONDUCTOR (1) USANDO UNA MASCARA (2). EL FOSO ESTA PARCIALMENTE RELLENO CON UN MATERIAL DE ELECTRODO (5) Y SE DOPAN LAS PAREDES DEL FOSO CON LA MASCARA TODAVIA PUESTA.
申请公布号 ES2170862(T3) 申请公布日期 2002.08.16
申请号 ES19960920938T 申请日期 1996.06.14
申请人 TOTEM SEMICONDUCTOR LTD 发明人 EVANS, JONATHAN LESLIE
分类号 H01L21/265;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/08;H01L29/423;H01L29/739;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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