制备多晶硅颗粒的方法和装置

摘要

本发明涉及制备多晶硅的方法和装置,更具体地说,为了更有效地防止硅沉积在反应气供给装置的出口表面上以及能连续地运转反应器以批量生产多晶硅颗粒,本发明涉及的是通过装备有可提供含有氯化氢蚀刻气体的喷嘴的流化床反应器制备粒状多晶硅的方法和装置。

主权项

1.一种通过将反应气供给到流化床反应器中制备多晶硅的方法，其中含有氯化氢的蚀刻气体注入到流化床反应器的反应气供给装置的表面上。