发明名称 Kristallzuchtverfahren für Halbleiter auf Galliumnitrid-Basis.
摘要
申请公布号 DE69203736(T3) 申请公布日期 2002.08.14
申请号 DE1992603736T 申请日期 1992.01.30
申请人 NICHIA KAGAKU KOGYO K.K., ANAN 发明人 NAKAMURA, SHUJI
分类号 H01L21/205;C30B25/02;H01L21/20;H01L33/12;H01L33/32;H01S5/00;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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