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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SELF-DOPING CONTACTS TO A SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR20020066327(A) 申请公布日期 2002.08.14
申请号 KR1020027006600 申请日期 2002.05.23
申请人 发明人
分类号 H01L31/18 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
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