| 发明名称 |
TRANSFER UNIT AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE INCLUDING THE UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2002217270(A) |
申请公布日期 |
2002.08.02 |
| 申请号 |
JP20010361620 |
申请日期 |
2001.11.27 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD |
发明人 |
AHN SEUNG-HOON;PARK SEOK-HEE |
| 分类号 |
B61B13/06;B61B13/08;B61D27/00;B65G49/07;B65G54/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B61B13/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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