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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer lichtemittierenden Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE69525700(T2) 申请公布日期 2002.08.01
申请号 DE19956025700T 申请日期 1995.08.17
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 NOTO, NOBUHIKO;ADOMI, KEIZO;TAKENAKA, TAKAO
分类号 H01L21/205;H01L33/14;H01L33/30;(IPC1-7):H01L33/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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