Ausrichtgerät zum Ausbilden eines Musters auf einem Halbleitersubstrat durch Belichten und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung mit einem Ausrichtgerät

摘要

Die Erfindung betrifft das Gebiet der Systeme zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen und insbesondere ein Ausrichtgerät zum Übertragen eines sehr kleinen Musters wie etwa des Musters einer integrierten Halbleiterschaltung. Ein Beleuchtungsoptiksystem (1) wird mit einer gegebenen Geschwindigkeit um eine Drehwelle (51) gedreht und strahlt Belichtungslicht auf eine Zwischenmaske (2) aus. Nachdem das Licht durch die Zwischenmaske (2) geleitet wurde, wird es durch ein Projektionsoptiksystem (3), das in der Weise um die Drehwelle (51) gedreht wird, daß eine relative Lagebeziehung zwischen dem Beleuchtungsoptiksystem (1) und dem Projektionsoptiksystem (3) erhalten bleibt, auf ein Halbleitersubstrat (4) projiziert.