发明名称 Integrierter Schaltkreis mi einem tiefen Wannen-Bereich und dazu gehöriges Verfahren
摘要 Ein integrierter Schaltkreis beinhaltet eine Halbleiter-Schicht eines ersten Leitfähigkeits-Typs, eine Vielzahl von voneinander beabstandeten Halbleiter-Pfeilern, welche sich auswärts von besagter Halbleiter-Schicht hin erstrecken und dabei zwischen sich Gräben definieren, eine entsprechende Gate-Struktur in jedem Graben, und wenigstens einen tiefen Wannen-Bereich, aufweisend den zweiten Leitungsfähigkeits-Typ und angeordnet, um sich in die Haltbleiter-Schicht zwischen einem unmittelbar angrenzend benachbarten Paar von korrespondierenden Halbleiter-Pfeilern und unter dem Boden von wenigstens einem Graben zu erstrecken, dabei wenigstens eine inaktive Gate-Struktur definierend. Der wenigstens eine tiefe Wannen-Bereich kann so positioniert sein, dass wenigstens ein Graben keinen tiefen Wannen-Bereich darunter aufweist, um wenigstens eine aktive Gate-Struktur zu definieren. Jeder Halbleiter-Pfeiler kann aus einem zweiten Leitfähigkeits-Typ sein, bezogen auf den ersten Leitfähigkeits-Typ.
申请公布号 DE10145045(A1) 申请公布日期 2002.08.01
申请号 DE20011045045 申请日期 2001.09.13
申请人 FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORP., SOUTH PORTLAND 发明人 KOCON, CHRISTOPHER BOGUSLAW
分类号 H01L29/749;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/40;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/749
代理机构 代理人
主权项
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