| 发明名称 |
Low cost equipment for cleaning using liquefiable gases |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0641611(B2) |
申请公布日期 |
2002.07.31 |
| 申请号 |
EP19940113814 |
申请日期 |
1994.09.02 |
| 申请人 |
RAYTHEON COMPANY |
发明人 |
STANFORD, THOMAS B.;CHAO, SIDNEY C. |
| 分类号 |
B01D11/00;B08B3/08;B08B3/12;B08B5/00;B08B7/00;D06F19/00;D06F43/00;D06F43/08;H01L21/304;H05K3/26;(IPC1-7):B08B3/02 |
主分类号 |
B01D11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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