敏感膜—阴极复合型压力传感器

摘要

敏感膜—阴极复合型压力传感器，由阳极(21)、压力敏感膜(22)、阴极电子发射膜(23)、真空腔(24)、绝缘层(25)构成了压力传感器；所说的压力敏感膜(22)和阴极电子发射膜(23)为一体。本发明使得传感器封装时只需使阴极图形与阳极电极引线相对应，对准精度可为几十微米至几百微米，大大降低了封装时阴、阳极对准精度要求，简化了封装工艺，对于提高传感器封装成功率、实现批量化生产有重要意义。

主权项

1、敏感膜—阴极复合型压力传感器，其特征是阳极(21)、压力敏感膜(22)、阴极电子发射膜(23)、真空腔(24)、绝缘层(25)构成了压力传感器；所说的压力敏感膜(22)和阴极电子发射膜(23)为一体。