| 发明名称 |
Method for producing semiconductor components |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002238422(A1) |
申请公布日期 |
2002.07.30 |
| 申请号 |
AU20020238422 |
申请日期 |
2001.12.12 |
| 申请人 |
AIXTRON AG |
发明人 |
HOLGER JURGENSEN;ALOIS KROST;MICHAEL HEUKEN;ARMIN DADGAR;ASSADULLAH ALAM |
| 分类号 |
C30B29/64;H01L21/301;H01L21/304;H01L33/00;H01S5/02;(IPC1-7):H01L33/00;C30B25/04;H01L21/78 |
主分类号 |
C30B29/64 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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