| 发明名称 |
VORRICHTUNG FÜR EINE THERMISCHE BEHANDLUNG VON SUBSTRATEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59901793(D1) |
申请公布日期 |
2002.07.25 |
| 申请号 |
DE19995001793 |
申请日期 |
1999.02.25 |
| 申请人 |
STEAG RTP SYSTEMS GMBH |
发明人 |
BLERSCH, WERNER;WALK, HEINRICH |
| 分类号 |
H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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