发明名称 METHOD FOR PRODUCING A DETECTOR ARRAY FOR DETECTION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION, AND DETECTOR ARRAY
摘要
申请公布号 IL146121(D0) 申请公布日期 2002.07.25
申请号 IL20010146121 申请日期 2001.10.23
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 G01T1/20;G01N;G01N23/08;G01T1/24;G01T1/29;H01L27/14;(IPC1-7):G01N 主分类号 G01T1/20
代理机构 代理人
主权项
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