发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING A DETECTOR ARRAY FOR DETECTION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION, AND DETECTOR ARRAY |
摘要 |
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申请公布号 |
IL146121(D0) |
申请公布日期 |
2002.07.25 |
申请号 |
IL20010146121 |
申请日期 |
2001.10.23 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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分类号 |
G01T1/20;G01N;G01N23/08;G01T1/24;G01T1/29;H01L27/14;(IPC1-7):G01N |
主分类号 |
G01T1/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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