Elektro-optische Abtastvorrichtung

摘要

Eine elektrooptische Abtastvorrichtung mit: DOLLAR A einem elektrooptischen Element (2), welches mit der Verdrahtung auf der Oberfläche eines zu messenden Mikroplättchens (1) verbunden ist, um gemessen zu werden und dessen optische Eigenschaften sich verändern, wenn ein elektrisches Feld über die Verdrahtung angelegt wird; ein optisches Systemmodul (6a) der elektrooptischen Abtastvorrichtung, welches intern mit polarisierenden Strahlteilern (63, 66), Wellenlängenplättchen (61, 62, 64) und Photodioden (70, 71) ausgestattet ist und welches einen von außerhalb eingestrahlten durch dieses elektrooptische Element transmittierten Laserstrahl und welcher weiter an einer Oberfläche dieses elektrooptischen Elementes, das dieser Verdrahtung gegenüberliegt, reflektiert wird, aufspaltet und in elektrische Signale umwandelt, wobei das optische Systemmodul dieser elektrooptischen Abtastvorrichtung aufweist; ein lambda/4-Plättchen (74), um den Laserstrahl, der elliptisch polarisiert ist, wieder zurück in linear polarisiertes Licht umzuwandeln, bevor es das optische Systemmodul der elektrooptischen Abtastvorrichtung betritt; und ein lambda/2-Plättchen (67), um die Polarisationsrichtung dieses linear polarisierten Lichtes einzustellen.