| 摘要 |
<p>본 발명은 운용자(operator)가 웨이퍼 세정기 문을 용이하게 개폐하도록 하는 문 개폐 장치에 관한 것이다. 종래에는 운용자가 웨이퍼를 세정시키기 위해서는 손잡이(14)를 한 손으로 잡고, 다른 손으로는 문(12)을 열어야 하기 때문에, 웨이퍼를 세정시키기가 매우 불편하다. 이와 같이 운용자가 한 손으로 손잡이(14)를 잡고, 다른 손으로는 문(12)을 열다가 카세트(16)를 바닥에 떨어뜨리는 경우 카세트(16) 내에 안착된 웨이퍼가 손상될 수 있다. 본 발명은 운용자의 발동작에 의해 공기압의 발생을 제어해서 웨이퍼 세정기 문이 자동으로 개폐되도록 하여 운용자가 웨이퍼세정기 문을 용이하게 개폐하도록 한다. 따라서, 웨이퍼의 세정 공정이 안전하게 이루어지고 웨이퍼의 생산성이 향상되는 효과가 있다.</p> |
